德國(guó)Physik掃描定位器P-587 6軸壓電精密調(diào)節(jié)器

孫粗 QQ：2335451726   手機(jī)：18510570918 電話：010-64714988-197 傳真：010-84786709-667 郵件：sales96@handelsen.cn

Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級(jí)精度進(jìn)行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設(shè)計(jì)，有許多變體可供選擇。

6軸壓電定位器

?

P-587 6軸壓電精密調(diào)節(jié)器

行程大，可直接進(jìn)行位置測(cè)量

用于 X、Y、Z、θ 的掃描和定位X0 $Y0 $Z

線性行程 800 μm × 800 μm × 200 μm

旋轉(zhuǎn)速度高達(dá) 1 mrad

通過(guò)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度

電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)最大線性度

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)的使用壽命

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌

所有 6 個(gè)自由度的主動(dòng)補(bǔ)償

應(yīng)用

干涉

測(cè)量

納米壓印

半導(dǎo)體測(cè)試

半導(dǎo)體制造

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測(cè)量。它們保證了出色的機(jī)芯線性度、高長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機(jī)械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)自動(dòng)使用此數(shù)據(jù)。

適用于要求苛刻的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗(yàn)證，無(wú)一次故障。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對(duì)沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行。

通過(guò)直接位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)最高精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這可實(shí)現(xiàn)最佳的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)的控制。

P-587.6CD

P-562.6CD PIMars 6軸納米定位工作臺(tái)

6自由度高精度納米定位器

6 個(gè)運(yùn)動(dòng)軸：3 ×線性，3 個(gè)×旋轉(zhuǎn)

線性行程可達(dá) 200 μm，傾斜角度可達(dá) 1 mrad。

通過(guò)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度

通過(guò)集成電容式傳感器實(shí)現(xiàn)最高線性度

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌

出色的掃描平坦度

自由光圈 66 mm × 66 mm

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)的使用壽命

特高壓兼容多達(dá) 10 個(gè)-9hPa

應(yīng)用

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物工藝學(xué)

掩模/晶圓定位

樣品定位

干涉

測(cè)量

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測(cè)量。它們保證了出色的機(jī)芯線性度、高長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件更換

機(jī)械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)自動(dòng)使用此數(shù)據(jù)。

適用于要求苛刻的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。不含聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)特別低的釋氣率。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗(yàn)證，無(wú)一次故障。

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對(duì)沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行。

通過(guò)平行位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度

所有自由度均根據(jù)單個(gè)固定基準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量。可以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)到另一個(gè)軸的不需要的串?dāng)_（取決于帶寬）（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度。

P-562.6CD