德國Physik帶光圈的壓電納米定位器 P-733.3 XYZ系列

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個軸上以亞納米級精度進行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設計，有許多變體可供選擇。

P-733.3 XYZ 壓電納米定位器

帶孔徑的高精度XYZ掃描儀

行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm

超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高達 0.2 nm

快速響應

無間隙和高精度固態(tài)導軌

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

用于快速掃描

帶集成光纖支架的版本

特別具有成本效益的系統(tǒng)

應用

光子學/集成光學

顯微操作

生物工藝學

半導體測試

光纖定位

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。

PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

P-733.3CD

P-733.3CL

P-733.3DD

P-561 • P-562 • P-563 PIMars 納米定位臺

高精度納米定位器，最多 3 個軸

X、Y 軸的行程可達 100 μm × 100 μm，Z 軸軸的行程可達 10 μm

電容式傳感器分辨率高達 0.1 nm

高速、直接驅(qū)動版本

可根據(jù)要求提供超高真空和非磁性版本

通過并聯(lián)運動學提高精度和動態(tài)性

用于主動補償領先誤差的并行計量

無間隙和高精度固態(tài)導軌

自由光圈 50 mm × 50 mm，適用于透射光應用

應用

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面計量

納米壓印

顯微操作

圖像處理/防抖

具有高平整度和運動直線度的納米定位

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。

通過平行位置測量實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度

所有自由度均根據(jù)單個固定基準進行測量?？梢詫崟r調(diào)節(jié)運動到另一個軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也能實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度。

P-561.3CD

P-561.3CL

P-562.3CD

P-562.3CL

P-563.3CD

P-563.3CL

P-561.3DD

P-517 • P-527 多軸壓電掃描儀

具有直接位置測量功能的高動態(tài)納米定位器/掃描儀

帶壓電陶瓷驅(qū)動器和固態(tài)接頭的升降/傾斜工作臺

2 軸和 3 軸版本（XY 和 XYθZ)

行程可達 200 μm

亞納米分辨率

應用

測量

干涉

光子學/集成光學

光刻

納米定位

掃描顯微鏡

樣品比對

微加工

PICMA® 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

通過平行位置測量實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度

所有自由度均根據(jù)單個固定基準進行測量?？梢詫崟r調(diào)節(jié)運動到另一個軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也能實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度。

P-517.2CD

P-517.2CL

P-517.3CD

P-517.3CL

P-517.RCD

P-527.2CD

P-527.2CL

P-527.3CD

P-527.3CL

P-527.RCD