品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-13 16:38 |
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P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)
六自由度高精度納米定位系統(tǒng)
§ 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸:3個(gè)為線性,3個(gè)為旋轉(zhuǎn)
§ 行程達(dá)200微米(線性)和1毫弧度(偏 擺角)
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線性度
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 優(yōu)異的掃描平面度
§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米
§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命
§ 超高真空兼容至10-9百帕
· 掃描顯微鏡
· 超分辨率顯微鏡
· 生物技術(shù)
· 掩模/晶圓定位
· 樣本定位
· 干涉測(cè)量
· 計(jì)量
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng)導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損,無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
訂購(gòu)信息
P-562.6CD PIMars6軸納米定位系統(tǒng),200微米,1毫弧度,平行計(jì)量
可按需提供其他行程。
我們的優(yōu)勢(shì):
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北京漢達(dá)森德國(guó)本土采購(gòu),拼箱發(fā)貨報(bào)關(guān),德國(guó)技術(shù)支持,終身售后服務(wù),貨期保證,價(jià)格公道,歡迎垂詢!如需更多信息歡迎垂詢漢達(dá)森品牌專員譚晶18518172492。
PI (Physik Instrumente)六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)P-562.6CD
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