PI (Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺(tái)P-587

P-587 六軸精密壓電平臺(tái)

譚晶 QQ：2853369887   手機(jī)：18518172492 電話：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

長行程，直接位置測量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 六 自由度主動(dòng)補(bǔ)償

應(yīng)用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         計(jì)量

·         納米壓印

·         半導(dǎo)體測試

·         半導(dǎo)體制造

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

訂購信息

P-587.6CD

帶長行程的六軸納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器

我們的優(yōu)勢：

1）渠道廣泛，國內(nèi)有代理，或者有客戶保護(hù)廠家不賣的產(chǎn)品，只要您能提供型號(hào)，我們同樣可以從德國的分銷商來采購。

2）價(jià)格合理，繞過層層代理，最大限度的讓利給客戶。

3）直接從德國廠家采購，保證所有產(chǎn)品均為原裝正品。

4）德國倉庫每周三統(tǒng)一拼箱發(fā)貨，極大節(jié)約了物流成本。

5）德國工程師為您提供專業(yè)的售前及售后技術(shù)咨詢服務(wù)。

北京漢達(dá)森德國本土采購，拼箱發(fā)貨報(bào)關(guān)，德國技術(shù)支持，終身售后服務(wù)，貨期保證，價(jià)格公道，歡迎垂詢!如需更多信息歡迎垂詢漢達(dá)森品牌專員譚晶18518172492。