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德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)

特點：

·         行程范圍為120 µm×120 µm×120 µm

·         超緊湊：44毫米×44毫米×44毫米

·         分辨率至0.2 nm

·         快速響應行為

·         零間隙，高精度撓曲導向系統(tǒng)

·         PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

·         快速掃描

·         帶集成光纖支架的版本

·         特別便宜的系統(tǒng)

應用領域

·         光子學/集成光學

·         顯微操作

·         生物技術

·         半導體測試

·         光纖定位

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。