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線性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線性平臺

P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)

1軸大孔徑

P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺

動態(tài)穩(wěn)定

P-752高精度納米定位臺

高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導(dǎo)

PI P-750

P-750壓電納米定位系統(tǒng)

具有直接計量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)

廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)

PI P-712

P-712線性壓電掃描儀

緊湊型OEM系統(tǒng)

P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器

可變行程范圍和軸配置

壓電撓性垂直平臺

P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器

可變行程范圍和軸配置

S-303壓電移相器

高動態(tài)，納米級精密壓電移相器

P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀

直接位置測量和通光孔徑

P-612.Z壓電Z舞臺

帶孔的緊湊型納米定位器

P-611.Z壓電Z舞臺

緊湊型納米定位器

特色定制

PI P-725KHDS

P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀

重型物鏡的納米分辨率