德國FuG Elektro
nik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復性
公司介紹：
FuG Elektronik GmbH 和 Guth High Voltage GmbH 現(xiàn)在是 XP Power 的一部分，XP Power 是世界領(lǐng)先的電子行業(yè)關(guān)鍵電源解決方案開發(fā)商和制造商之一。
XP Power致力于成為電源解決方案的領(lǐng)先供應商，包括AC-DC電源和DC-DC轉(zhuǎn)換器，高壓電源 和射頻電源。
射頻功率系統(tǒng)
大批量、經(jīng)生產(chǎn)驗證的射頻解決方案
無論是過程穩(wěn)定性還是易于集成，對高性能電源解決方案的要求往往都很復雜。我們的射頻專業(yè)知識受到客戶的信任，能夠在我們經(jīng)濟高效的解決方案中提供最高水平的可靠性和可重復性。
我們的射頻功率能力
當涉及到關(guān)鍵電力系統(tǒng)時，故障不是一種選擇，
這就是XP Power致力于在其射頻電源解決方案中提供最佳可靠性的原因，其控制和監(jiān)視器使您能夠密切關(guān)注性能。
我們擁有易于集成的射頻發(fā)生器，具有最新的通信協(xié)議和先進的脈沖功能。結(jié)合我們領(lǐng)先的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，我們幫助客戶解決他們最高價值的問題。
增強了工藝重復性和最終使用壽命值
我們提供廣泛的射頻等離子體發(fā)生器和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，可根據(jù)您的獨特應用進行配置。從半導體加工到工業(yè)應用，我們的產(chǎn)品都能滿足您獨特的工藝要求。
XP Power射頻發(fā)生器采用新的穩(wěn)定技術(shù)設(shè)計，可在工藝條件發(fā)生變化時消除射頻振蕩。這將帶來更可重復的逐運行供電。通過消除不穩(wěn)定性，這些組件也可以在更安全的狀態(tài)下運行，從而提高射頻功率傳輸系統(tǒng)的壽命。
產(chǎn)品：
①：CDX系列
CDX系列是業(yè)界領(lǐng)先的雙射頻等離子體發(fā)生器。這種獨特的設(shè)計是XP射頻放大器40多年工程知識的結(jié)晶，將兩種不同的射頻輸出集成到一個緊湊、高性能的封裝中。在可維護性和集成性方面，CDX發(fā)生器是最具成本效益和靈活性的射頻解決方案，旨在滿足未來市場需求。
特點和優(yōu)點
可配置400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz或60MHz的任意兩個固定頻率
每輸出功率高達1.5kW
每個獨立通道提供可靠且可重復的射頻功率
靈活的平臺支持廣泛的應用程序
擁有成本低
②：CH系列
CH系列射頻發(fā)生器旨在優(yōu)化占地面積效率，將我們的XP功率射頻放大器和開關(guān)模式直流技術(shù)結(jié)合到一個緊湊的半機架封裝中，具有高水平的功率傳輸可靠性和準確性。模塊化設(shè)計使CH生成器可配置用于任何客戶平臺。
特點和優(yōu)點
最寬的可選擇固定頻率：400kHz至60MHz
功率范圍從50W到1.5kW
頻率捷變調(diào)諧和高級脈沖
DeviceNet、RS232和EtherCAT
靈活的設(shè)計，便于工藝工具集成
采用TurboTune技術(shù)的經(jīng)濟高效的解決方案
③：CB系列
在必須具備工藝可靠性的情況下，CB射頻發(fā)生器采用我們經(jīng)過半導體生產(chǎn)驗證的固態(tài)設(shè)計，提供精確且可重復的功率控制，為您的最關(guān)鍵的工藝提供超穩(wěn)定可靠的射頻功率。
特點和優(yōu)點
固定頻率的多樣化選擇：13.56至60MHz
功率范圍從600W到5.0kW
S-Technology提供超穩(wěn)定的輸出
增強等離子體穩(wěn)定性，實現(xiàn)最佳工藝環(huán)境
改進的射頻控制可實現(xiàn)功率重復性
穩(wěn)健的設(shè)計可實現(xiàn)高加工工具正常運行時間
④：CLB系列
CLB3000系列融合了我們CB3000平臺的所有創(chuàng)新。CLB發(fā)電機專門設(shè)計用于低頻和中頻應用，提供增強的精度和可重復的功率輸送。
特點和優(yōu)點
標準功率版本：600W、1.25kW、3.0kW或200W至10kW的可配置功率選項
寬低頻至中頻固定頻率——20kHz至2MHz
增強的供電精度
高度靈活性的平臺支持廣泛的中低頻應用
用于過程控制的超穩(wěn)定調(diào)節(jié)射頻輸出
擁有成本低
⑤：RF匹配網(wǎng)絡(luò)
XP功率阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)采用我們獨特的高速調(diào)諧算法設(shè)計，即使在高“Q”負載下也能實現(xiàn)精確的匹配調(diào)諧。控制電路快速、準確、可靠地將輸入阻抗調(diào)整為50歐姆，以響應過程中負載特性的變化。
特點和優(yōu)點
寬功率范圍從50W到10kW
寬阻抗范圍，可覆蓋不同應用
直流偏置和射頻VP-P檢測器電路
定制以適合所有類型的腔體
調(diào)整過程中的運行到運行和機組到機組的可重復性確保了更嚴格的過程控制
通過快速調(diào)整和等離子體穩(wěn)定時間提高工具生產(chǎn)率
德國FuG Elektronik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復性
客服熱線：
