vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S的性能特征
王新宇
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vaisala公司在全球范圍內(nèi)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售環(huán)境和工業(yè)測(cè)量產(chǎn)品，并致力于提高生活質(zhì)量、加強(qiáng)環(huán)境保護(hù)以及安全高效經(jīng)濟(jì)的工業(yè)生產(chǎn)。 維薩拉公司的主要客戶群為世界各國的氣象、國防安全、道路和鐵路交通、水文資源管理組織，以及各研究機(jī)構(gòu)、保險(xiǎn)行業(yè)、公用事業(yè)以及各種工業(yè)領(lǐng)域，公司生產(chǎn)的產(chǎn)品97%用于出口。
維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S：
緊湊型折光儀，采用超純改性PTFE流通池主體，適用于半導(dǎo)體液體化學(xué)過程。通過 1/4 — 1 英寸的立柱或擴(kuò)口接頭連接到工藝。維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 可監(jiān)測(cè)潔凈室環(huán)境和集成工藝工具（混合、清潔、蝕刻和 CMP）中晶圓廠化學(xué)品的濃度。
PR-33-S 由一個(gè)超純的改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)電纜組成，任何標(biāo)準(zhǔn) PoE（以太網(wǎng)供電）交換機(jī)都可以使用該電纜將電力傳輸?shù)絺鞲衅鞑?shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。PR-33-S 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度，并在化學(xué)品超出規(guī)格時(shí)提供以太網(wǎng)輸出信號(hào)和即時(shí)反饋。例如，可以配置低濃度和高濃度警報(bào)來控制和延長(zhǎng)浴槽壽命。濃度是通過對(duì)溶液的折射率nD和溫度進(jìn)行光學(xué)測(cè)量來確定的。
特征：
PR-33-S 直接與喇叭口或支柱配件在線安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，占用空間很小。
N.I.S.T. 可溯源校準(zhǔn)，使用標(biāo)準(zhǔn) RI 液體進(jìn)行驗(yàn)證，并經(jīng)過驗(yàn)證的程序。。
通過以太網(wǎng)的遠(yuǎn)程面板，用于數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程操作。
通信由標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 協(xié)議構(gòu)建。
過程溫度范圍：-20°C – 85°C （-4°F – 185°F）。
通過內(nèi)置 Pt1000 和自動(dòng)數(shù)字溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)快速過程溫度測(cè)量。
優(yōu)勢(shì)：
維薩拉 K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 用于過程控制和監(jiān)測(cè)，并提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)。設(shè)計(jì)緊湊，設(shè)備直接在線安裝。
折射率 nD 1.3200–1.5300 的全測(cè)量范圍，相當(dāng)于 0-100% 重量?？蛇x范圍 nD 1.2600–1.4700 用于強(qiáng) HF。 典型精度 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（重量），例如水中的 HCl。
測(cè)量不受 PPM 范圍內(nèi)的顆粒、氣泡、湍流或雜質(zhì)的影響。
型號(hào)：
TMW92測(cè)試變送器，電流輸出
TMW93測(cè)試變送器，電壓輸出
HMW92(D) RH+T變送器，電流輸出(帶顯示器)
HMW93(D) RH+T變送器，電壓輸出(帶顯示器)
HMW95(D) RH+T變送器(帶顯示器)，Modbus RTU通信
TMW90 測(cè)試變送器，可配置模擬輸出模型
HMW90 RH+T變送器，可配置模擬/數(shù)字模型
HMD82， HMD82D， HMD83， HMD83D
HMS82， HMS82C， HMS83， HMS83C
HMW82， HMW82P100， HMW83， HMW88， HMW89. HMW89D
TMD82，TMW82， TMW88
vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S的性能特征
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