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VAT蝶閥61236-PA

    

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有效期至長期有效 最后更新2022-01-18 14:07
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VAT蝶閥61236-PA

   VAT蝶閥61236-PA

  一、瑞士VAT公司介紹

鄧蕾
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手機:13021972807
電話:010-64714988-223
傳真:010-64714988-668
郵件:tk8@handelsen.cn
鄧蕾郵箱:tk8@handelsen.cn電話:010-64714988-223鄧蕾微信二維碼

  VAT集團于1965年創(chuàng)立,總部位于瑞士,全球約1200名雇員。VAT是國際知名的真空閥,多閥模塊,邊焊接波紋管的制造商,VAT基于不斷的創(chuàng)新和對質(zhì)量和可靠性的專一專注,在真空閥領(lǐng)域確立了全球領(lǐng)導(dǎo)地位。VAT可以提供1000多種標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,為客戶提供最廣泛的業(yè)務(wù)范圍。VAT根據(jù)“零缺陷”原則生產(chǎn)真空閥,已通過ISO 9001和ISO 14001認證,提供最高質(zhì)量的產(chǎn)品。

  二、瑞士VAT部分產(chǎn)品介紹

  1.VAT閘閥

  具有模塊化執(zhí)行機構(gòu)概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合工業(yè)和研發(fā)應(yīng)用。它通常用于半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的管道中。插入版本以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體),更高的密封材料(Chemraz,EPDM等),帶有VITON制成的密封件,可更換,特殊的閥門澆口,適合安裝各種孔板。

  2.VAT蝶閥

  VAT蝶閥是下游應(yīng)用的蝶形壓力控制閥。帶有非常快速且堅固的執(zhí)行器,高性能,集成控制器,具備極短的控制響應(yīng)時間和位置指示,自動維護指示,出色的抗污染能力。該閥門的控制器可確保非??焖俸蜏?zhǔn)確的壓力控制。通過操作LEARN功能,在啟動時只需要執(zhí)行一次,即可自動確定系統(tǒng)參數(shù)。由于采用了自適應(yīng)算法,因此控制器可以連續(xù)適應(yīng)過程條件(氣體種類,氣體流量),從而確保隨時進行最佳壓力控制。

  3.VAT轉(zhuǎn)換閥

  VAT轉(zhuǎn)換閥用于200、300和450毫米晶圓的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動執(zhí)行器,主體材質(zhì)為鋁,不銹鋼,波紋管受保護,使用壽命長,大于500萬次循環(huán)的預(yù)期壽命,公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米。

  4.VAT角閥

  VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體,除氣率極低。當(dāng)排氣速率極低時,對于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要。耐高壓差,固定式可旋轉(zhuǎn)CF法蘭,在最高溫度80°C下可以進行300萬次循環(huán),主體材質(zhì)不銹鋼,執(zhí)行器類型分為手動執(zhí)行器(手輪),氣動執(zhí)行器(單閉孔,帶有閉合彈簧NC)。

  5.VAT軟啟動閥

  VAT軟啟動閥由兩半節(jié)流閥瓣組成,它們支撐在一條公共軸上,并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO-KF對中環(huán)中,該對中環(huán)形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個ISO-KF法蘭(而不是定心環(huán))之間時,必須將打開的閥瓣對準(zhǔn)真空管路中的氣流。當(dāng)粗加工系統(tǒng)投入運行時,在粗加工管線中會產(chǎn)生強氣流,該氣流會立即關(guān)閉閥門,并使管段減少約99%。當(dāng)達到約2%的壓差時,在15mbar時,閥門打開并幾乎毫無阻礙地離開管道,以進行進一步泵送。

  三、供應(yīng)部分產(chǎn)品型號

  1.VAT閘閥

 ?、匍l閥01024-KE01

 ?、陂l閥01028-KE01

 ?、坶l閥01032-KE01

  ④閘閥01034-KE01

 ?、蓍l閥01024-KE11

  2.VAT蝶閥

  ①蝶閥61236-PA

 ?、诘y61238-PA

  ③蝶閥61240-PA

 ?、艿y61244-PA

 ?、莸y61246-PA

  3.VAT轉(zhuǎn)換閥

 ?、俎D(zhuǎn)換閥02209-AA24

 ?、谵D(zhuǎn)換閥02210-AA24

 ?、坜D(zhuǎn)換閥02212-AA24

 ?、苻D(zhuǎn)換閥02213-AA24

 ?、蒉D(zhuǎn)換閥02241-AA24

  VAT蝶閥61236-PA

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