德國ATL LASER激光器ATLEX-500-L-KrF技術指導
公司介紹:
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年通過開發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術方面取得了突破。ATL通過幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念,如今,ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專利的預電離和放電技術引領世界。ATL繼續(xù)開發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器,并保持該領域的技術領先地位。
產(chǎn)品系列示例:
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
產(chǎn)品特點:
延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命
風冷/可選液冷
用于系統(tǒng)集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學支架
便于氣體處理的集成4閥系統(tǒng)
能量穩(wěn)定模式
動態(tài)風扇速度控制
德國ATL LASER 型號:ATLEX-500-L-KrF
氣體介質(zhì):KrF
波長:248nm
高壓開關技術:固態(tài)開關
最大脈沖能量:15mJ
最大平均功率:6.5W
最大重復率:500Hz
脈沖持續(xù)時間:5–8ns
尺寸:6x4mm
光束發(fā)散:2x1mrad
能量穩(wěn)定性:<2%
尺寸:600x415x567mm
重量:70kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/10A/1Phase/50-60Hz
德國ATL LASER激光器ATLEX-500-L-KrF技術指導