德國XITON激光器EXCITE-532技術(shù)指導(dǎo)
王子豪
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EXCITE是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于紫外應(yīng)用,如晶圓檢測、光譜儀校準(zhǔn)和干涉測量應(yīng)用。小于30MHz的頻譜帶寬接近其理論傅立葉極限。
激光器在M²<1.6的衍射極限光束中提供短時間脈沖,重復(fù)率在1到30kHz之間。平均輸出功率在266nm時超過150mW,或在355nm時超過500mW,在堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)中具有超穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過4m的長相干長度。
XITON EXCITE532
波長:532nm
平均功率:2.5W
脈沖持續(xù)時間:15-20ns
每脈沖能量:160µJ
重復(fù)頻率:1-30kHz
平方米:<1.2
頻譜帶寬:<50MHz
相干長度:>3m
脈沖到脈沖刺:σ<0.8%
德國XITON激光器EXCITE-532技術(shù)指導(dǎo)