瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

　　瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

 

 

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　　1、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品介紹

　　不斷上漲的硅晶片價(jià)格和成品需求意味著報(bào)廢晶片的成本比以往任何時(shí)候都高。因此，了解您的工藝并監(jiān)控缺陷已成為半導(dǎo)體制造中心的重中之重。Transpector MPH氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應(yīng)用提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，以幫助最大限度地提高芯片產(chǎn)量并最大限度地減少工具停機(jī)時(shí)間。結(jié)合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時(shí)間，Transpector MPH比市場(chǎng)上任何其他殘留氣體分析儀(RGA)更能幫助您實(shí)現(xiàn)盈利。INFICON利用其在氣體分析過程控制設(shè)備方面的專業(yè)知識(shí)，創(chuàng)建了具有行業(yè)領(lǐng)先數(shù)據(jù)收集速度、最小可檢測(cè)分壓和信噪比的RGA。所有這些都不會(huì)犧牲您對(duì)INFICON Transpector氣體分析儀所期望的任何可靠性。

　　2、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品概述

　　隨著制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的變化，了解您的過程和保持產(chǎn)品質(zhì)量的需求比以往任何時(shí)候都更加重要。Transpector MPS可以通過監(jiān)控過程條件、檢測(cè)污染物和檢查泄漏來幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS以卓越的價(jià)值為他們的客戶提供Transpector品牌RGA的強(qiáng)大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種版本，可讓您靈活地執(zhí)行各種功能，包括常規(guī)泄漏檢測(cè)、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治?。這種多功能性Transpector MPS成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應(yīng)用的首選傳感器。

　　3、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品特征

　　新型Transpector XPR 3+殘留氣體分析儀(RGA)提供行業(yè)領(lǐng)先的測(cè)量速度，以監(jiān)測(cè)和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+是現(xiàn)場(chǎng)漏氣、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測(cè)的理想選擇。與定期上升率測(cè)試相比，使用Transpector XPR 3+進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量可提供遠(yuǎn)超卓著的產(chǎn)品保護(hù)。Transpector XPR 3+RGA是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的四極桿和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力范圍應(yīng)用。無需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備、使用壽命長(zhǎng)的組件以及快速檢測(cè)和診斷問題的能力相結(jié)合，可最大限度地提高工具可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量。該傳感器可以從高真空到20 mTorr連續(xù)運(yùn)行，無需泵。Transpector XPR 3+雙離子源腔室旨在限制涂層以保持離子源靈敏度并延長(zhǎng)傳感器的平均維護(hù)時(shí)間。

　　4、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品原理

　　十多年來，INFICON Transpector CPM一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)領(lǐng)先的殘留氣體分析儀(RGA)過程監(jiān)控系統(tǒng)?，F(xiàn)在Transpector CPM 3通過與新傳感器和電子設(shè)備集成的經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的泵和入口系統(tǒng)提供行業(yè)領(lǐng)先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3是適用于ALD、CVD、PVD和蝕刻等新型和成熟半導(dǎo)體工藝的理想RGA工藝監(jiān)控器。INFICON Transpector®單壓采樣(SPS)殘留氣體分析儀為目標(biāo)高壓工藝提供最佳的半晶圓和顯示面板保護(hù)。Transpector SPS通過對(duì)單壓力應(yīng)用最靈敏的漏氣和工藝污染檢測(cè)來最大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供行業(yè)領(lǐng)先的檢測(cè)限和測(cè)量速度，以確保晶圓和面板的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS通過為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控來最大化過程吞吐量和產(chǎn)量。

　　5、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

　　儀器將簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效的入口系統(tǒng)與經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的離子源和泵組相結(jié)合，提供低風(fēng)險(xiǎn)和高回報(bào)的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應(yīng)用，Transpector SPS是真空電弧重熔(VAR)等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的，可以根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行定制。對(duì)于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過程壓力，可選擇標(biāo)準(zhǔn)孔板、毛細(xì)管和旁路管線組合。耐腐蝕的入口、離子源和泵組件專為在蝕刻、CVD、ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存而設(shè)計(jì)。

　　6、瑞士INFICON分析儀部分產(chǎn)品型號(hào)

　?、偃鹗縄NFICONTranspectorMPH

　?、谌鹗縄NFIConTranspector MPS

　?、廴鹗縄NFIConTranspectorXPR 3+

　?、苋鹗縄NFIConTranspectorCPM 3

　?、萑鹗縄NFICONTranspectorSPS

　?、奕鹗縄NFICONTranspectorCPM

　?、呷鹗縄NFIConQMG 700

　?、嗳鹗縄NFIConInficon Quantus LP100

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