IBS光學(xué)干涉儀ARINNA AR2
ARINNA能夠測(cè)量離散的步高和表面質(zhì)量,垂直分辨率為 <2nm。巨型像素?cái)z像頭可在 1 秒內(nèi)捕獲表面掃描??捎糜谠诰€缺陷檢測(cè)和特征化、光學(xué)表面和結(jié)構(gòu)測(cè)量、3D表面拓?fù)錅y(cè)量、MEMS/NEMS 檢測(cè)等。
印刷電子生產(chǎn)線- AR5 系統(tǒng)已集成到生產(chǎn)用于汽車應(yīng)用的印刷電子的生產(chǎn)線中。根據(jù)公差值評(píng)估 100 納米到 1 微米深度的激光劃線,以控制激光工藝。
AR2
Z 范圍 (μm) 96
李銀
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每次捕獲 FOV (毫米) 2,8 x 2,8。
Z 分辨率 (μm) 0,002
結(jié)果時(shí)間(秒) 1,5 (0,9 測(cè)量 +0,6 計(jì)算)
工作距離(毫米) 34
分辨率為 15kHz 有色 0,007%,有色 0,009%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0,01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬:100 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz(用戶可選)