Physik Instrumente PI 不僅開發(fā)并生產(chǎn)廣泛的定位階段和執(zhí)行器,用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。PI 還將這些解決方案適應客戶特定的應用或為運動和定位提供成品子系統(tǒng)。
控制是一個重要的系統(tǒng)組件,也由 PI 提供。這不僅提供了復雜的控制概念,而且還為應用環(huán)境提供了硬件和軟件界面。
PI 的 Pizo 柔性階段結(jié)合了亞納米分辨率和引導精度與最小相聲。這使得它們特別適合在計量學、超分辨率顯微鏡、干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)的檢測系統(tǒng)中的應用。Piezo 柔性階段可用于毫秒沉降精度定位和動態(tài)掃描,最高可達 6 度的 100 赫茲。
專有傳感器設計、無摩擦柔韌導引和長壽命 PICMA Piezo 執(zhí)行器的獨特組合造就了卓越而堅固的力學。Piezo 運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化,并且輕松集成到數(shù)字或模擬界面和舒適的編程中。
Physik Instrumente P-616 納米立方體納米定位器®
用于納米定位和光纖對齊的緊湊型并行運動皮耶佐系統(tǒng)
所有空間方向最高剛度的平行運動設計
高共振頻率導致的高動態(tài)運動,即使負載高達 100 g
由于單一安裝平臺,創(chuàng)新產(chǎn)品設計,可靈活使用。
市場上只有具有 ID 芯片功能的納米定位器
最小和最輕的納米立方體®,市場上有 100 μm 旅行范圍。
應用領域
光纖定位和對齊
掃描顯微鏡
2光子聚合
納米技術和納米制造
光子學 / 集成光學
微操縱
示例定位
Physik Instrumente P-611.3 納米立方體 XYZ 皮耶佐系統(tǒng)®
用于納米定位和光纖對齊的緊湊型多軸 Piezo 系統(tǒng)
應用領域
光子學 / 集成光學
微操縱
生物工藝學
半導體測試
光纖定位
Physik Instrumente (PI)P-611XZ = P-611.2 XZ 和 XYZ 納米定位器
用于納米定位的緊湊型雙軸皮耶佐系統(tǒng)
干涉
顯微術
納米定位
生物工藝學
測試程序和質(zhì)量保證
光子
光纖定位
半導體技術
E-664 納米立方體皮耶佐控制器®用于 P-611.3S XYZ-納米定位系統(tǒng)
峰值功率 3 × 14 W
位置控制與一個檔次過濾器為更高的帶寬和穩(wěn)定性電壓/位置指示器
P-611.3S 納米立方體®納米定位系統(tǒng)的廉價控制器
611.3S 的 Piezo 放大器和伺服控制器
Physik Instrumente (PI)E-664Piezo 放大器和伺服控制器特別適合 P-611.3S 納米立方體® XYZ 納米定位系統(tǒng)的操作要求。三個功能強大、噪音低的 Piezo 放大器和帶高分辨率應變量表傳感器的儀器放大器的控制電子元件允許位置分辨率高達 2 nm 以及動態(tài)操作。
Physik Instrumente (PI)E-664 控制器和 P-611.3S 納米立方體的結(jié)合®使其成為一個價格低廉的三維納米定位系統(tǒng)。
Physik Instrumente系列產(chǎn)品
韓麗萍
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