德國 Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。

PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器

半導(dǎo)體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫(yī)療技術(shù)

材料研究

機(jī)械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線儀器

添加劑制造

主動(dòng)對準(zhǔn)

 

部分產(chǎn)品分類及介紹

 

納米定位壓電撓性位移臺

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。

專有傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)器具有出色且堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

 

1.多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。 

 

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

應(yīng)用領(lǐng)域：

光纖定位和對準(zhǔn)

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

樣品定位

 

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

通過并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸運(yùn)行

在并聯(lián)運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個(gè)公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速，動(dòng)態(tài)且仍然精確的運(yùn)動(dòng)。

 

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

 

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（根據(jù)帶寬）得到主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

 

2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)。 

 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動(dòng)器

用于顯微鏡物鏡的高動(dòng)態(tài)定位器

 

使用PIFOC對目標(biāo)進(jìn)行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動(dòng)物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機(jī)

音圈馬達(dá)是直接驅(qū)動(dòng)器。在直接驅(qū)動(dòng)中，驅(qū)動(dòng)元件的力直接傳遞到要移動(dòng)的負(fù)載上，而無需使用機(jī)械傳??遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動(dòng)器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當(dāng)電流流經(jīng)繞組時(shí)，它會在永磁體的磁場中移動(dòng)。音圈驅(qū)動(dòng)器由于其重量輕且無摩擦的驅(qū)動(dòng)原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)力和高速度的應(yīng)用。這些驅(qū)動(dòng)器還可以實(shí)現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因?yàn)樗鼈儾皇艽艤挠绊憽?/div>