Physik Instrumente-N-765 精密Z向位移臺參數

 Physik Instrumente-N-765 精密Z向位移臺參數

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·         采用PIOne增量編碼器實現直接測量，分辨率為0.5納米

·         最小位移達1納米

·         行程為6.5毫米

·         負載能力達25牛

·         可以直接安裝在N-565線性定位器上

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NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動器的線性定位器可實現較長行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk®步進驅動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動原理，其還能實現理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅動器原理，PiezoWalk®步進驅動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預載可確保步進驅動器自鎖。因此，步進驅動器靜止狀態(tài)下將保持位置，關機時可實現機械穩(wěn)定（無伺服抖動）。靜止狀態(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數據進行相應處理后，可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

 

訂購信息

Q-521,100 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.130 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521,140 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.14U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅動，行程為12毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

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