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北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司
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德國(guó)PI直供小型線性平臺(tái)Q-521.240

    

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品牌PI 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2021-09-29 14:25
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德國(guó)PI直供小型線性平臺(tái)Q-521.240

吳亞男
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德國(guó)PI直供小型線性平臺(tái)Q-521.240

Q-521.240
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
 
帶位置控制、分辨率高、價(jià)格實(shí)惠的最小線性平臺(tái)
 
Q-521
Q-Motion®小型線性平臺(tái)
? 寬僅21毫米、高僅10毫米
? 采用集成式增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測(cè)
? 編碼器分辨率高達(dá)1納米
? 最小位移高達(dá)2納米
? 帶接裝板或支架(作為選配件提供)的
多軸系統(tǒng)裝置
? 適用于高達(dá)10-
6百帕的真空環(huán)境,還可提供用于真空
達(dá)10-9百帕的版本
 
壓電慣性驅(qū)動(dòng)器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器,其保持力相對(duì)較大,行程幾乎是無(wú)限的。慣
性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹,移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由
于其慣性,轉(zhuǎn)子無(wú)法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí),驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪
上,實(shí)現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。
直接測(cè)量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米,取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)
開(kāi)關(guān)。
真空和無(wú)磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6 百帕。此外,適用于10-
9 百帕的超高真空變型也可供貨??砂葱杼峁o(wú)磁性版本。
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測(cè)試
 
 
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Q-521.100
Q-Motion®
小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為12毫米,不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 30 ×
10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion®
小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為22毫米,不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 32 ×
10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
 
Q-521.24U
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion®
小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為32毫米,不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 42 ×
10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
 
德國(guó)PI直供小型線性平臺(tái)Q-521.240
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