PI (Physik Instrumente)P-753 LISA線性促動(dòng)器和平臺(tái)

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P-753 LISA線性促動(dòng)器和平臺(tái)

位置動(dòng)態(tài)穩(wěn)定

同時(shí)為平臺(tái)和促動(dòng)器提供導(dǎo)向

分辨率 0.1 nm

直接驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)極其快速的響應(yīng)行為

行程達(dá)38 微米

可提供非磁性版本

電容式傳感器帶來最高線性度

描述

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         測量技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         光子

·         光纖定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

PICMA直接驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)更高剛性和動(dòng)態(tài)

帶直接驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷納米定位器無機(jī)械平移，帶PICMA直接驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷納米定位器無機(jī)械平移。因此可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)速度，并在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)最高的剛性和動(dòng)態(tài)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-753.1CD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器

P-753.2CD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器

P-753.3CD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器

帶LEMO連接器的版本

P-753.11C

 LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-753.21C

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-753.31C

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-753.1UD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.2UD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.3UD

LISA高動(dòng)態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，D-sub連接器, 真空兼容至10-9百帕

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