PI (Physik Instrumente)A-110 帶空氣軸承的PIglideLC線性平臺(tái)

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A-110 帶空氣軸承的PIglideLC線性平臺(tái)

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸160毫米×200 毫米

負(fù)載容量達(dá)100 牛

無塵室兼容

行程達(dá)400 毫米

PIglide參考級(jí)線性平臺(tái)

PIglide定位系統(tǒng)具有一個(gè)磁性線性電機(jī)、磁性預(yù)載空氣軸承和一個(gè)光學(xué)線性編碼器：非接觸式無摩擦運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)最佳精度和可靠性

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器

XY裝置和個(gè)性化配置

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的應(yīng)用。

由于運(yùn)動(dòng)無摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺(tái)非常適用于無塵室應(yīng)用。

訂購(gòu)信息

A-110.050A1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.050B1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.100A1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.100B1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.200A1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.200B1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.300A1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，300毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.300B1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，300毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.400A1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，400毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-110.400B1 PIglideLC線性平臺(tái)，空氣軸承，400毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

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