L-306 緊湊型精密Z向位移臺 德國PI (Physik Instrumente)

L-306 緊湊型精密Z向位移臺

緊湊型設計，多軸組合

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緊湊型設計：表面63毫米×63毫米

可選配線性編碼器用于直接位置測量

非接觸式參考和限位開關

步進電機和閉環(huán)直流電機

交叉滾柱導軌

緊湊型Z向位移臺，用途廣泛

帶皮帶驅動的折疊驅動，Z向位移臺結構緊湊?？砂惭b在帶M6 50 毫米 × 50 毫米連接間距的線性平臺上（如L-406）。

位置測量

·         增量線性編碼器（可選配步進電機）

·         非接觸式光學參考和限位開關

交叉滾柱導軌

對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現(xiàn)了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

驅動器

·         兩相步進電機或閉環(huán)直流電機

·         空回補償型滾珠絲杠

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

應用領域

研究, 半導體技術, 光子, 自動化

訂購信息

L-306.011100 緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機，含3米成套電纜

L-306.011112 緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機，帶A/B正交信號傳輸?shù)木€性編碼器，5納米傳感器分 辨率，含3米成套電纜

L-306.013112 緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，直流電機，帶A/B正交信號傳輸?shù)木€性編碼器，50納米傳感器分 辨率，含3米成套電纜

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L-306 緊湊型精密Z向位移臺  德國PI (Physik Instrumente)