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德國 Physik Instrumente U-523PILine?線性平臺

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至長期有效 最后更新2021-06-22 19:14
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德國 Physik Instrumente U-523PILine?線性平臺

品牌簡介
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在過去的四十年中,PI(Physik Instrumente)已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機(jī)始終保持不變:為客戶找到最佳解決方案。PI(Physik Instrumente)位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名,多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊精神,其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司,在全球擁有1000多名員工,并且是一個靈活的垂直整合的組織,這使PI(Physik Instrumente)位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準(zhǔn)
 
線性平臺
PI提供了廣泛的電動線性平臺產(chǎn)品組合。種類繁多的應(yīng)用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米,精度等級從納米到微米:PI使驅(qū)動器,導(dǎo)向器或傳感器技術(shù)適應(yīng)應(yīng)用條件。
有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實(shí)現(xiàn),或者通過匹配的Z平臺和旋轉(zhuǎn)平臺更加緊湊。
運(yùn)動控制器可作為臺式設(shè)備,機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集(GCS)進(jìn)行命令,該命令簡化了控制和編程,并且與驅(qū)動器類型無關(guān)。
可提供具有ACS運(yùn)動控制器的多軸工業(yè)應(yīng)用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成,以實(shí)現(xiàn)精密和以運(yùn)動為中心的工業(yè)應(yīng)用。
 
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1.U-523PILine®線性平臺
帶有超聲波壓電馬達(dá)的緊湊型線性平臺
精密級線性定位平臺
PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時,自鎖驅(qū)動器會以機(jī)械方式穩(wěn)定工作臺的位置。因此,能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量,光學(xué)參考開關(guān)可實(shí)現(xiàn)可靠的可重復(fù)運(yùn)動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉,可以定制。
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性,機(jī)械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
PILine®超聲波壓電馬達(dá)
PILine®超聲波壓電電機(jī)的組成部分是壓電致動器,該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運(yùn)動。每個周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上,可確保驅(qū)動器在靜止和關(guān)閉時自動鎖定。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操作,自動化,生物技術(shù),樣品處理,樣品定位,空間有限的應(yīng)用,10 -6 hPa的真空應(yīng)用(可選)。
 
2.精度最高的N-565線性平臺
具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器
NEXACT®參考級線性平臺
帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承,可實(shí)現(xiàn)最高的精度。
使用PIOne線性編碼器進(jìn)行直接位置測量
PI開發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器,并通過對測量值進(jìn)行相應(yīng)的處理,使位置分辨率大大小于1納米。另外,由于信號周期短和信號質(zhì)量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在評估參考信號時支持方向感測。
PiezoWalk®技術(shù):高分辨率和低磨損
PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達(dá)的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅(qū)動器不僅提供亞納米級分辨率,高作用力和高剛度,而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅(qū)動原理相反,PiezoWalk®行走驅(qū)動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進(jìn)的多個壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時,PiezoWalk®行走驅(qū)動器是自鎖的,不消耗能量,并且不發(fā)熱。
應(yīng)用領(lǐng)域
樣品處理,樣品定位,具有高精度和穩(wěn)定性的光學(xué)或機(jī)械組件,半導(dǎo)體行業(yè)的精密機(jī)械,顯微操作,顯微鏡,自動化,在狹窄空間中的應(yīng)用,在非磁性環(huán)境中的應(yīng)用。
 
3.L-812高負(fù)載線性平臺
步進(jìn)或伺服電機(jī)•驅(qū)動螺桿•性價比高
強(qiáng)大的線性平臺,用于要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用
精密滾珠絲杠,高性能步進(jìn)或同步伺服電機(jī),重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負(fù)載下連續(xù)可靠地運(yùn)行??蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進(jìn)行補(bǔ)充潤滑,以確保高可靠性和長壽命。
開拓設(shè)計
L-812系列的循環(huán)球軸承導(dǎo)軌設(shè)計用于高負(fù)載能力和動態(tài)性能。電機(jī)的高分辨率可改善跟蹤性能,減小跟蹤誤差并縮短建立時間。
選項
步進(jìn)或同步伺服電機(jī)
抱閘
旋轉(zhuǎn)編碼器,增量式或絕對式
折疊式傳動系統(tǒng)可減少總長度
同步伺服電機(jī)
這些電動機(jī)在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動器的高動態(tài)。這些電機(jī)的使用壽命長,性能高且堅固耐用,可在工業(yè)自動化應(yīng)用中獲得出色的效果。
步進(jìn)電機(jī)
強(qiáng)大且低振動的2相步進(jìn)電機(jī)即使在沒有位置控制的情況下也可以實(shí)現(xiàn)精確定位。
應(yīng)用領(lǐng)域
電子產(chǎn)品生產(chǎn):微裝配。傳感器/攝像頭的位置。
激光材料加工:激光微加工。
工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。
測試與檢查。
醫(yī)療設(shè)備制造:氣密焊接。基因?qū)嶒炇业臋C(jī)器人系統(tǒng)。
 
空氣軸承和位移臺
空氣軸承臺用于需要無振動運(yùn)動,速度需要高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。
空氣軸承避免了摩擦,磨損和反沖效應(yīng)。PIglide線性,旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件,可以集成和電動化用于OEM,工業(yè)和研究市場。
 
1.A-142 PIglide音圈線性平臺,帶空氣軸承
   高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件
產(chǎn)品總覽
高性能緊湊型音圈線性平臺,帶有空氣軸承導(dǎo)軌。免維護(hù),無限壽命,非常適合具有高占空比和嚴(yán)格體積限制的高動態(tài)應(yīng)用。
集成的平衡選項可實(shí)現(xiàn)垂直方向的操作。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
垂直安裝的氣動平衡
應(yīng)用領(lǐng)域
線性位移臺非常適合高精度應(yīng)用,例如計量學(xué),光子學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng),光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動。
 
2.A-110 PIglide LC線性平臺,帶空氣軸承
廉價的高性能納米定位臺
產(chǎn)品總覽
PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機(jī),磁性預(yù)加載的空氣軸承和光學(xué)線性編碼器:非接觸和無摩擦運(yùn)動,可提供最高的準(zhǔn)確性和可靠性
應(yīng)用領(lǐng)域
PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應(yīng)用,例如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計量,光子學(xué)和精密掃描。
由于無摩擦運(yùn)動,不會形成任何顆粒,這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
配件和選件
編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運(yùn)動控制器
XY設(shè)置和個別配置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
 
3.A-141 PIglide MB微型線性平臺,帶空氣軸承
高性能,無塵室兼容,可定制
產(chǎn)品總覽
帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機(jī)驅(qū)動器,該驅(qū)動器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運(yùn)動平臺,該平臺可提供最高的性能,質(zhì)量和使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
該載物臺非常適合許多高精度應(yīng)用,例如計量,光子對準(zhǔn),光學(xué)定位和掃描。非接觸式設(shè)計也是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動。空氣軸承模塊提供鎖定設(shè)計,以實(shí)現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運(yùn)動控制器
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
 
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旋轉(zhuǎn)臺
對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸,負(fù)載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導(dǎo)向選項的平臺:空氣軸承,扭矩馬達(dá)驅(qū)動,蝸輪蝸桿耦合電動,小型壓電馬達(dá)平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應(yīng)的線性,垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。 
 
1.A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺,帶空氣軸承,大孔徑
無摩擦,電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計為具有最高的精度。它們外形小巧,通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度,平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器(可選)
絕對值編碼器提供明確的位置信息,從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用,從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描,束線系統(tǒng),晶圓計量,晶圓檢查,測量技術(shù),檢查系統(tǒng),校準(zhǔn),掃描。
由于無摩擦運(yùn)動,不會形成任何顆粒,這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
 
2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺
無摩擦,電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺采用薄型設(shè)計,可實(shí)現(xiàn)最高的精度??梢越M合使用各種選項,以創(chuàng)建理想的解決方案,以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度,平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器(可選)
絕對值編碼器提供明確的位置信息,從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用,從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)對準(zhǔn),晶圓檢查,晶圓對準(zhǔn),測量技術(shù),檢查系統(tǒng),校準(zhǔn),掃描。
由于無摩擦運(yùn)動,不會形成任何顆粒,這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無刷
無槽
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
真空饋通
在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖
根據(jù)要求清除光圈
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
 
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