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BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G

品牌BUSCH	有效期至長期有效	最后更新2020-09-30 10:43
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BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G

BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G

先進的螺絲設(shè)計

高效：

經(jīng)濟高效，維護最少，正常運行時間長

靈活：

面向應(yīng)用

流程時間短：

由于抽速高

堅固：

內(nèi)部組件上有防腐蝕涂層

設(shè)計緊湊

COBRA DS 0080/0160 G是成熟的COBRA DS系列中的干螺桿真空泵。即使在要求高氫氣通過量的條件下，它們的高抽速也使COBRA DS螺桿真空泵成為光伏電池，平板顯示器和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻過程的理想選擇。最先進的COBRA DS螺桿真空泵技術(shù)可將粉狀和顆粒狀介質(zhì)排空。

COBRA DS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發(fā)的螺桿輪廓和無阻礙的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸汽和顆粒耐受性。螺釘由一體式鑄件制成??，避免了任何間隙，從而使過程流體或顆粒無法進入，從而防止了腐蝕。

配備高效電機，COBRA DS 0080/0160 G具有出色的能源效率。由于維護需求低，運營成本低，正常運行時間長且生命周期長，因此總擁有成本非常低，因此在此性能級別中樹立了標(biāo)準(zhǔn)。

由于采用了就地安裝設(shè)計，因此可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝為現(xiàn)有系統(tǒng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

高密度等離子CVD（HDP-CVD）

快速熱處理（RTP）

低于大氣壓CVD（SACVD）

金屬有機CVD（MOCVD）

等離子增強CVD（PECVD）

低壓CVD（LPCVD）

原子層沉積（ALD）

技術(shù)說明

技術(shù)規(guī)格COBRA DS氣缸

內(nèi)的兩個螺桿轉(zhuǎn)子沿相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在氣缸和螺旋腔之間，被壓縮并輸送到出氣口。在壓縮過程中，螺桿轉(zhuǎn)子不會相互接觸

其他或圓柱體。因此，在壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRA DS系列真空泵使用高效的間接水冷技術(shù)，可在整個泵體內(nèi)實現(xiàn)可控的溫度分布，并能夠響應(yīng)工藝變化。先進的螺桿設(shè)計可實現(xiàn)極高的抽氫速度。

尺寸

COBRA DS 0080/0160 G

抽速

空氣在20°C。公差：±10％ 50赫茲 60赫茲

技術(shù)參數(shù)	COBRA DS 0080 G	COBRA DS 0160 G
額定抽速	70立方米/小時	140立方米/小時
極限壓力	0.03（3·10 -2） hPa（毫巴）	0.03（3·10 -2） hPa（毫巴）
電機額定功率	4.0千瓦	5.5千瓦
電機額定轉(zhuǎn)速	3000分鐘-1	3000分鐘-1
極限壓力時的功耗	2.6千瓦	4.3千瓦
噪聲等級 (ISO 2151)	<62分貝（A）	<68分貝（A）
用水量	4.0升/分鐘	4.0升/分鐘
氮氣消耗量	0-75升/分鐘	0-75升/分鐘
重量（約）	276公斤	338公斤
尺寸（長 x 寬 x 高）	865 x 385 x 667毫米	975 x 425 x 697毫米
進氣口/排氣口	DN 40 / DN 40	DN 50 / DN 40