Physik Instrumente N-565線性平臺

精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級的電容位置傳感器到獨(dú)創(chuàng)的PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器，PI已掌握全套關(guān)鍵技術(shù)，強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力推動(dòng)著微米納米定位技術(shù)不斷地向前沿發(fā)展，也使得PI成為全球眾多高科技企業(yè)、著名實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴。

 

N-565 帶線性編碼器實(shí)現(xiàn)最高精度

具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

 

N-565

具有最高精度的線性平臺

? 超高精度：最小位移為2納米，直接測

量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米

? 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

? 關(guān)機(jī)后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生

? PiezoWalk技術(shù)帶來長使用壽命和高可靠

性

? 緊湊型設(shè)計(jì)：寬為65毫米、高為20毫米

 

NEXACT參考級線性平臺

帶NEXACT

PiezoWalk驅(qū)動(dòng)器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承

，可實(shí)現(xiàn)最高精度。

PiezoWalk技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不僅能提供亞納米級分辨

率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動(dòng)原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動(dòng)化驅(qū)動(dòng)器原理，

PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)

動(dòng)輪步進(jìn)。靜止?fàn)顟B(tài)下，PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器自鎖，不消耗能量，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號

周期短、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時(shí)支持方向感應(yīng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動(dòng)

化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.

 

訂購信息

N-565.160

精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

N-565.260

精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

N-565.360

精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器