Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器4850型

Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器4850型

 

  Brooks Instrument精密流體測(cè)量和控制技術(shù)的制造商，產(chǎn)品主要應(yīng)用在在重工業(yè)。在石油和天然氣精煉中?；瘜W(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽(yáng)能電池、LED、薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造。

 

Brooks Instrument 4850型質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢(shì)：

   Brooks Instrument 4800系列質(zhì)量流量控制器和儀表基于 MEMS 的熱傳感器，結(jié)合專有的 PID 算法來(lái)優(yōu)化控制閥響應(yīng)，Brooks Instrument  4800 系列控制器能夠快速匹配實(shí)際質(zhì)量流量以適應(yīng)任何變化。設(shè)定點(diǎn)?？蛇x的本地操作員界面 (LOI) 提供了方便的用戶界面來(lái)查看、控制和配置設(shè)備，無(wú)需遠(yuǎn)程輔助電子設(shè)備。

快速響應(yīng)時(shí)間確保工藝配方更改過(guò)程中的快速步驟

適合 OEM：緊湊的尺寸便于集成到狹小的機(jī)器空間并加快安裝速度

可選的本地操作員界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定點(diǎn)控制和設(shè)備配置的交鑰匙解決方案；無(wú)需遠(yuǎn)程輔助電子設(shè)備

多種通信選項(xiàng)可輕松滿足用戶需求

 

Brooks Instrument 4850型質(zhì)量流量控制器特征：

流量響應(yīng)時(shí)間（穩(wěn)定時(shí)間）<0.75 秒

創(chuàng)新的 MEMS 傳感器和專有的 PID 算法

緊湊的尺寸不到典型熱 MFC 尺寸的一半：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)

可選的本地操作員界面 (LOI) 簡(jiǎn)化了設(shè)置和操作；免費(fèi)下載LabVIEW VI，用于監(jiān)控和歸零設(shè)備

通過(guò) RS-232 的數(shù)字能力

 

Brooks Instrument 4850型質(zhì)量流量控制器應(yīng)用：

熱處理、切割/焊接和其他熱處理工藝

太陽(yáng)能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)

用于測(cè)量和控制試劑、校準(zhǔn)和樣氣流量的分析設(shè)備

 

Brooks Instrument 4850型質(zhì)量流量控制器技術(shù)規(guī)格：

流量范圍（滿量程）：50 sccm - 40 slpm 

準(zhǔn)確性：3.0% 滿額，1.0% FS（可選）

重復(fù)性：0.15% FS

響應(yīng)時(shí)間：常閉閥：300 ms - <1 sec

常閉閥：300 ms - <1 sec

壓力：150 磅/平方英寸/10 巴

模擬通信：0-5 伏直流，4-20 毫安

數(shù)字通信：RS232

控制范圍：2-100%

溫度范圍：5-50攝氏度

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He

密封材料：彈性體密封

接液材料：316 不銹鋼，哈氏合金 C-22，1707 PH，43055

電源/消耗：+15 Vdc + 10% 或 +24 Vdc + 10%

 

Brooks Instrument流量計(jì)常見型號(hào)：

SLA5853S3AAB2C2A1

SLAMF50S1BAF1G2A2

SLAMF50S1BAB1G2A2

SLAMF50S1BDD1G2A2

1350GAH3ABJT1AAA

SLA5850SB1AB1B2A1

 

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