PIEZOCONCEPT納米定位器Z-STAGE.50參數(shù)介紹

 

PIEZOCONCEPT納米定位臺(tái)系列產(chǎn)品主要應(yīng)用：

航天航空

顯微與成像

醫(yī)療技術(shù)

納米技術(shù)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)

圖像處理

測(cè)量/檢測(cè)

生物科學(xué)與生命科學(xué)

集成光學(xué)

激光加工與激光光刻

半導(dǎo)體技術(shù)

超精密加工

 

Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動(dòng)納米定位器，具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑（LF66 / LFHS2）的2軸納米定位器結(jié)合使用，以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺(tái)可提供 5、10、25 或 50μm 的運(yùn)動(dòng)范圍。

 

納米定位器Z-STAGE.50型號(hào)參數(shù)

活動(dòng)范圍：50μm

分辨率0.05nm

本底噪聲：0.005nm

重性 ：0.1nm

線性化：0.02

諧振頻率：3500Hz

剛度：2.7N/um

材質(zhì)：鋁

尺寸：Φ30x 69,8 mm

 

原理：納米位移臺(tái)主要采用超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng),其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng);通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制;在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí),可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

 

型號(hào)：

PIEZOConCEPT HS1H.10

PIEZOConCEPT HS1H.30

PIEZOConCEPT HS1H.50

PIEZOConCEPT HS1H.70

PIEZOConCEPT HS1H.100

PIEZOConCEPT HS1.10

PIEZOConCEPT HS1.30

PIEZOConCEPT HS1.50

PIEZOConCEPT HS1.70

PIEZOConCEPT HS1.100

PIEZOConCEPT Z-STAGE.5

PIEZOConCEPT Z-STAGE.10

PIEZOConCEPT Z-STAGE.25

PIEZOConCEPT Z-STAGE.50

PIEZOConCEPT TT1.5

PIEZOConCEPT TT1.10

PIEZOConCEPT LFHS2.30

PIEZOConCEPT LFHS2.50