*N-865 PI微型定位六足位移臺

PI公司介紹：

PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應(yīng)客戶的要求，同時(shí)還可滿足已建立并經(jīng)測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產(chǎn)品的高質(zhì)量和客戶關(guān)系的整體可靠性而聞名。

由于PI致力于在范圍內(nèi)將其廣泛的技術(shù)型譜用于精密定位，PI (Physik Instrumente)已成為OEM業(yè)務(wù)中的強(qiáng)大合作伙伴。這向客戶保證了PI將始終為他們的應(yīng)用選擇解決方案，且無任何限制。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動化驅(qū)動器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動器沿一個(gè)動輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保步進(jìn)驅(qū)動器自鎖。因此，步進(jìn)驅(qū)動器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置，關(guān)機(jī)時(shí)可實(shí)現(xiàn)機(jī)械穩(wěn)定（無伺服抖動）。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運(yùn)動平臺上進(jìn)行實(shí)際位置測量，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時(shí)支持方向感應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個(gè)特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。力導(dǎo)向滾動體保持架防止線性導(dǎo)向蠕變。

有效zhuan li 

在壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器（NEXACT®、NEXLINE®）技術(shù)領(lǐng)域，PI擁有以下zhua li或zhuan li申請：

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.

規(guī)格

技術(shù)參數(shù)為 20±3 °C下的數(shù)值。

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* 單個(gè)坐標(biāo)（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依賴。本表中各軸對應(yīng)的數(shù)值為其大行程，此時(shí)其他軸和樞軸點(diǎn)位于參考位置。

訂購信息

N-865.160

SpaceFAB，NEXACT®壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器，X和Y向上的行程為±6.5毫米，Z向上的行程為±5毫米 ，θx和θy向上的旋轉(zhuǎn)范圍為±7度，θz，θz向上的旋轉(zhuǎn)范圍為±8度，Z向上的負(fù)載能力為15牛